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鄭州高校實(shí)驗(yàn)室 三靶磁控濺射鍍膜儀支持定制
鄭州成越科儀CY-MSH325-III高真空三靶磁控濺射鍍膜儀，專為高校、科研院所及企業(yè)研發(fā)設(shè)計(jì)，可制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物等多種薄膜。采用304不銹鋼腔體，φ325mm腔體配分子泵系統(tǒng)，極限真空達(dá)1×10??Pa。支持直流/射頻雙電源，靶材2英寸，樣品臺(tái)加熱500℃、轉(zhuǎn)速可調(diào)。設(shè)備通過CE認(rèn)證，提供上門安裝培訓(xùn)與質(zhì)保服務(wù)。
核心技術(shù)參數(shù)
| 設(shè)備型號(hào) | CY-MSH325-III-DCDCRF-SS |
| 腔體規(guī)格 | φ325mm×550mm，304不銹鋼材質(zhì) |
| 真空系統(tǒng) | 600L/S分子泵組，極限真空1×10??Pa |
| 靶材配置 | 3個(gè)2英寸水冷磁控靶，獨(dú)立控溫 |
| 供電系統(tǒng) | DC 500W×2 + RF 300W 雙電源 |
| 樣品臺(tái)參數(shù) | φ150mm，室溫~500℃可調(diào)，轉(zhuǎn)速1-20rpm |
| 整機(jī)功率/電壓 | 3.5KW，AC220V |
應(yīng)用場景
廣泛應(yīng)用于材料科學(xué)研究、半導(dǎo)體薄膜制備、新能源材料研發(fā)、光學(xué)薄膜鍍膜、高校實(shí)驗(yàn)室教學(xué)、科研院所專項(xiàng)實(shí)驗(yàn)等場景，是科研級(jí)薄膜制備核心設(shè)備。
常見問題FAQ
Q：設(shè)備可以鍍哪些材料？
A：可鍍金屬（金、銀、銅、鋁等）、半導(dǎo)體材料、氧化物、氮化物等各類薄膜材料，完全適配科研級(jí)高精度薄膜制備需求。
Q：設(shè)備交貨周期是多久？
A：標(biāo)準(zhǔn)現(xiàn)貨款交貨周期2-3周，非標(biāo)定制款根據(jù)需求4-6周，全程包含上門安裝、調(diào)試與技術(shù)培訓(xùn)服務(wù)。
Q：是否支持非標(biāo)定制？
A：支持深度定制，可按需擴(kuò)展4靶、6靶配置，可放大腔體尺寸、升級(jí)真空系統(tǒng)、增加自動(dòng)化控制模塊。
Q：設(shè)備售后質(zhì)保政策是什么？
A：整機(jī)享受1年質(zhì)保，核心真空、電源部件2年質(zhì)保，終身提供免費(fèi)技術(shù)咨詢、設(shè)備維護(hù)指導(dǎo)。
Q：高?？蒲袉挝皇欠裼袑ｍ?xiàng)優(yōu)惠？
A：針對高校、職業(yè)院校、科研院所提供專項(xiàng)采購折扣，可協(xié)助適配科研經(jīng)費(fèi)申報(bào)、實(shí)驗(yàn)室配套方案定制。
企業(yè)實(shí)力保障：鄭州成越科學(xué)儀器有限公司為高新技術(shù)企業(yè)，深耕材料制備設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)多年，設(shè)備通過CE權(quán)威認(rèn)證，產(chǎn)品覆蓋**30+省市，遠(yuǎn)銷海外?？擅赓M(fèi)提供個(gè)性化鍍膜工藝方案、樣品測試服務(wù)，歡迎各大高校、企業(yè)客戶實(shí)地考察洽談。咨詢**：400-800-1730
