Name: ?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀
Brand: 成越科儀
SKU: CY-MSZ194-I I -DCDC-SS

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產(chǎn)品名稱：?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)：CY-MSZ194-I I -DCDC-SS
產(chǎn)品廠商：成越科儀
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簡(jiǎn)單介紹：

?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，尤其是實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備，?桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀采用旋轉(zhuǎn)加熱樣品臺(tái)，可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質(zhì)量。

詳情介紹：

CY-MSZ194-I I -DCDC-SS桌面型雙靶直流磁控鍍膜儀本設(shè)備為實(shí)驗(yàn)室真空PVD鍍膜儀，可用于金屬薄膜的制備，在電子領(lǐng)域、光學(xué)領(lǐng)域、特殊陶瓷制備等領(lǐng)域均有應(yīng)用，也可實(shí)驗(yàn)室SEM樣品制備。

技術(shù)參數(shù)：

產(chǎn)品名稱	桌面型不銹鋼腔體雙靶磁控鍍膜儀
產(chǎn)品型號(hào)	CY-MSZ194-I I -DCDC-SS
樣品臺(tái)	外形尺寸	φ100mm
	工作溫度	RT≦300℃
	可調(diào)轉(zhuǎn)速	≦20rpm
磁控靶槍	配兩支兩英寸磁控靶，靶材尺寸:直徑50.8mm，厚度≦3mm
真空腔體	腔體尺寸	φ194mm X250mm
	觀察窗口	全向透明
	腔體材料	304不銹鋼
	開啟方式	上蓋拆卸式
真空系統(tǒng)	前級(jí)泵	雙極旋片泵
	分子泵	渦輪分子泵
	真空測(cè)量	復(fù)合真空計(jì)
	抽氣接口	KF16
	抽氣接口	KF40
	排氣接口	KF16
	濺射真空	DC:0.3Pa
	供電電源	AC 220V 50/60Hz
	抽氣速率	分子泵抽速600L/s，前級(jí)泵抽速1.1L/s
電源配置	電源數(shù)量	直流電源兩套
電源配置	輸出功率	500W
其他參數(shù)	供電電壓	AC220V,50Hz
	整機(jī)功率	2kW
	整機(jī)尺寸	550mm X 350mm X900mm