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準分子激光器是一種特殊類型的氣體激光器，其名稱源于工作介質——“受激準分子”，即處于激發態的短暫存在的稀有氣體鹵化物（如ArF、KrF、XeCl）。它產生高能量的脈沖激光，典型輸出波長位于紫外波段。
其核心工作原理是：通過快速脈沖放電，使惰性氣體與鹵素氣體的混合物形成激發態準分子。當這些準分子從激發態躍遷回不穩定的基態并迅速離解時，便釋放出紫外光子，經諧振腔放大后形成激光。
憑借紫外光的光子能量高、波長短的特性，準分子激光器在工業上主要應用于精密加工，如半導體光刻、OLED顯示屏退火、光纖布拉格光柵刻寫等。在醫療領域，它則是近視矯正手術（如LASIK手術）中用于**切削角膜的關鍵設備。
準分子激光器以其獨特的紫外、脈沖、高能量特性，成為了**制造和**醫療中不可或缺的工具
技術參數:
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適用于脈沖激光沉積鍍膜技術的準分子激光器一臺，使用KrF作為工作氣體。
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激光波長 |
248±0.5nm； |
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脈沖能量 |
≥ 800mJ； |
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能量穩定性 |
≤1 %； |
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光束發散角 |
≤3×1mrad； |
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*大重復頻率 |
≥ 20Hz；
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穩定功率 |
≥ 14W |
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脈沖寬度（FWHM） |
：25±5ns |
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光斑尺寸 |
(24±4)×(10±2) mm |
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其他配置 |
配光學平臺一套，長度不低于激光器長度+30 cm，寬度不低于激光器寬度+60 cm，高度根據激光器出光口高度調整，激光器出光口中心距地面高度120 cm。 激光器工作氣體采用6000升預混氣一瓶、5000升高純氦氣一瓶； 配減壓閥及不銹鋼或無氧銅管路； 配分體式冷水機一臺，制冷功率≥ 1kW； 配反射鏡（含光具座）2套。 聚焦透鏡（含光具座）1套。
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